半导体气体传感器结构,如何提高半导体气体传感器的选择性

目标气体穿过探针中的传感器产生与气体的体积分数成正比的信号。因为扩散过程是逐渐变慢的，所以扩散法要求探头的位置离测量点非常近。扩散法的一个优点是气体 sample直接引入传感器中，不经过物理化学转化。吸样探针通常用于在加工仪器或排气管附近取样。这种技术可以为传感器提供稳定的、速度可控的气流，所以在气流大小和速度经常变化的情况下，这种方法值得推荐。

1、半导体配方它是利用某些金属氧化物半导体材料，在一定温度下，电导率随环境变化而变化的原理制成的气体成分。比如酒精传感器就是利用二氧化锡在高温下遇到酒精气体电阻会急剧下降的原理来制备的。优点半导体Formula气体传感器可有效用于甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、酒精、甲醛、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、乙炔、氯乙烯、苯乙烯、丙烯酸等。

以下半导体formula-2传感器是成功的:甲烷(天然气、沼气)、酒精、一氧化碳(城市煤气)、硫化氢和氨(包括胺和肼)。高质量传感器可以满足工业测试的需要。缺点:稳定性差，受环境影响大；特别是每个传感器的选择性不唯一，输出参数无法确定。所以不适合有精确测量要求的地方。2.燃烧型This 传感器是在铂电阻表面制备的耐高温催化层。在一定温度下，可燃物气体在其表面被催化燃烧。燃烧是铂电阻温升和阻值变化的函数，变化值是可燃物气体浓度的函数。

尖头电烙铁就可以了。将从该管伸出的铂丝焊接在管座的引脚上，必要时在放大镜台灯下操作。在将引线连接到陶瓷芯片的电极的操作中，有的是银浆，有的是金浆。金浆料需要高温烧结，银浆料可以在100℃以下固化。很小的那种焊盘是用金丝球焊机之类的设备打孔的，有点贵。

Current半导体-2传感器研究趋势和发展方向气体 传感器国外向低功耗、多功能、集成化方向发展/另一方面，政府安全法规推动了传感器的市场增长。所以国外-2传感器技术发展很快。据有关统计，1996年美国年均增长率为(27 ~ 30)%。

如日本Figaro公司推出检测(01 ~ 10) × 10-6硫化氢的低功耗-2传感器，美国IST提供-2传感器，使用寿命10年以上，美国FirstAlert公司。二是增强可靠性，实现元器件和应用电路的集成化和多功能化，发展MEMS技术，开发现场适用的变送器和智能传感器。

气体敏感元件多以金属氧化物为主半导体。当被测的气体吸附在这个半导体的表面时，其电特性(如电导率)发生变化。比较流行的定性模型有:价态控制模型、表面电荷层模型和晶界势垒模型。1.半导体气体传感器的特性参数(1)气体传感器的电阻值电阻式气体传感器在常温洁净空气中的电阻值称为气体传感器(电阻式)的本征电阻值，记为Ra。

测量本征电阻值Ra时，要求在洁净的空气环境中进行。由于经济和地理环境的差异，不同地区空气中所含的气体成分差异较大，即使同一个气体传感器在同一温度下不同区域测量，其本征电阻也会不同。因此，测量必须在清洁的空气环境中进行，(2)气体传感器的灵敏度是表征气体传感器对被测物灵敏度的指标气体。表示气体传感器的电参数(如电阻式气体传感器的电阻值)与被测气体浓度之间的依赖关系。