压阻式传感器,固态压阻式传感器

压阻式-1传感器是由压阻效应的晶体制成的。2.压阻式压力传感器压阻压力传感器是由压阻效应的单晶硅和集成电路制成传感器，2.压阻式压力传感器压阻压力传感器指单晶硅和集成电路技术的压阻效应，压阻式pressure传感器传感器的应变和温度交叉灵敏度分析是在圆形硅膜片上进行的。

pressure传感器(压力传感器)是一种能够感知压力信号，并按照一定的规则转换成可用的输出电信号的装置或设备。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。根据试验压力类型的不同，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝对压力传感器。根据结构和原理的不同，可分为:应变式、压阻式、电容式、压电式、振动频率式压力传感器，等等。

1.应变压力传感器应变压力传感器是一种通过测量各种弹性元件的应变来间接测量压力的方法。根据材料的不同，应变元件可分为金属和半导体两大类。应变元件的工作原理是基于导体和半导体的“应变效应”，即当导体和半导体材料发生机械变形时，其电阻值会发生变化。2.压阻式压力传感器压阻压力传感器指单晶硅和集成电路技术的压阻效应。

pressure 传感器目前最长的工作原理有:1、压阻式2、电容3、压电4、晶体谐振等。1.压阻式具有硅电阻、陶瓷电阻、应变电阻等。，这就是压力转化为阻力变化的原理。2.电容主要采用陶瓷电容，是压力转化为电容变化的原理。3.压电式利用压电材料将压力的作用转化为电量的变化。4.晶体谐振将压力的作用转化为频率的变化。这个原理的应用是输出信号接近数字信号。

原理上，应变压力传感器是外界压力(或拉力)使应变材料的几何形状(长度或宽度)发生变化，进而使材料的电阻发生变化。外力的大小可以通过检测这种电阻变化来测量。压阻式压力传感器通常是半导体压敏材料。半导体压阻式 传感器受外力作用后几何形状变化不大，但晶格参数发生变化，影响带隙。即使是很小的带隙宽度变化也会引起载流子密度的很大变化，最终导致材料电阻率的变化。