相对硅压力传感器,硅压力传感器工作原理

压力 传感器工作原理:1。应变片压力 传感器原理、力学传感器有很多种，如电阻应变片-1传感器、半导体应变片压力 传感器、压阻式-1传感器，-1/ 传感器、谐振式压力 传感器、电容式加速度传感器等，根据测试类型的不同，压力 传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压-。

基于固体硅的原理压力 传感器之所以测得的电压随气压变化，是因为当半导体单晶硅材料受到外力作用，产生肉眼察觉不到的极小应变时，其原子结构内部的电子能级状态发生变化，导致其电阻率发生剧烈变化，由其制成的电阻也发生较大变化。

Hyundai-1传感器以半导体的发明为标志传感器半导体的发展可以分为四个阶段:1。发明阶段(19451960年)。此后，半导体材料的这一特性被广泛应用。C.S.Smith和1945年发现了硅和锗的压阻效应，即当外力作用于半导体材料时，其电阻会发生明显变化。

这一阶段的最小尺寸约为1cm。2发展阶段(1960-1970)随着硅扩散技术的发展，技术人员在硅的(001)或(110)晶面上选择合适的晶向，直接在晶面上扩散应变电阻，然后在背面加工成凹形，形成薄的硅弹性膜片，称为硅杯。这类硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、易于集成等优点，实现了金属硅的共晶，为商业化开发提供了可能。

压力传感器简单的工作原理是通过其内部的惠斯通电桥实现的压力检测。当液压或气压变化时，会使压力-。1.压阻式压力 传感器:电阻应变片是压阻式应变的主要元件之一传感器。金属电阻应变片的工作原理是吸附在基材上的应变电阻随机械变形而变化的现象，俗称电阻应变效应。

因此，硅蓝宝石制成的半导体传感器对温度变化不敏感，即使在高温下也具有良好的工作特性。蓝宝石抗辐射能力强；此外，硅蓝宝石半导体传感器没有pn漂移。3.压电压力 传感器:压电效应是压电传感器的主要工作原理。压电式传感器不能用于静态测量，因为只有当回路具有无限大输入阻抗时，外力作用后的电荷才得以保留。