mems温湿度传感器,MEMS温湿度传感器

什么是mems压力传感器？什么是温湿度 传感器？传感器有哪些更细的分类传感器如果细分的话，有很多类别:光电/光敏传感器电磁/磁敏传感器霍尔/电流(压力)传感器超声波/声敏传感器光纤/激光。-2/光栅/光幕传感器压力/称重/力(灵敏度)传感器扭矩/力矩传感器温度/湿度/温湿度/烟雾传感器料位/液位传感器振动/接近/位移9-9-2/火焰(警察)传感器生物传感器压电传感器电传感器旋转传感器面积/，-2/电阻/电容/电感传感器分析传感器电导率传感器离子传感器硬度传感器密度无线传感器智能传感器金属氧。

MEMS 传感器产业链全景梳理:MEMS 传感器应用广泛从产业链的角度来看，MEMS 传感器产业的上游产业链包括原材料和芯片设计。MEMS 传感器材料可分为四类:半导体材料、陶瓷材料、金属材料和有机材料。下游应用涉及工业、汽车电子、通信电子、消费电子、专用设备等。综合来看，MEMS 传感器行业涉及的领域非常广泛。

体积小，可靠性高，能耗低。但是价格高。哈哈。前期最好不要大量尝试。感觉准确性不太好。MEMS是21世纪最重要的明星工业技术，尤其是在光学、力学、电学、通讯、物理、生物、化学等领域，MEMS 传感器具有小型化、多功能、高精度、大批量生产、低成本的特点。a .可以提高信噪比。在同一芯片上进行信号传输之前，可以对信号进行放大，以提高信号电平，降低干扰和传输噪声，特别是在同一芯片上进行A/D转换时，可以提高信噪比。

由于这个传感器将敏感元件、放大电路和补偿电路(如微压传感器)集成在同一芯片上，在实现传感检测的同时具有信号处理的功能(同一芯片上的反馈电路可以提高输出钽电容的线性度和频响特性):由于集成了补偿电路，可以减少温度或应变等因素引起的误差；同一芯片上的电压电流源可以提供自动或周期性的自校准和自诊断。输出信号的调节功能。

1、微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开发的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、产业化程度最高的产品。从信号检测方式上，MEMS压力传感器可分为压阻式和电容式两种，分别基于体微机械加工技术和牺牲层技术制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器精度可达0.05% ~ 0.01%。

温度误差0.0002%，耐压可达几百MPa，过压保护范围可达传感器 range的20倍以上，可在较宽范围内进行全温度补偿。目前MEMS压力传感器的主要发展方向如下。(1)智能压力传感器是将传感器与信号处理、校准、补偿和微控制器集成在一起而研制的。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程微压传感器。(3)提高工作温度，发展高低温压力传感器。

5、 传感器有哪些类型? 传感器有哪些比较细的分类

传感器如果细分的话有很多类别:光电/光敏传感器电磁/磁敏传感器霍尔/电流(压力)传感器超声波/声敏传感器光纤/激光。-2/光栅/光幕传感器压力/称重/力(灵敏度)传感器扭矩/力矩传感器温度/湿度/温湿度/烟雾传感器料位/液位传感器振动/接近/位移9-9-2/火焰(警察)传感器生物传感器压电传感器电传感器旋转传感器面积/。-2/电阻/电容/电感传感器分析传感器电导率传感器离子传感器硬度传感器密度无线传感器智能传感器金属氧化

温湿度传感器刚好其中一个传感器，空气中只有温湿度被某检测装置测到。因为温度和湿度是密切相关的，无论是在物理量本身，还是在实际人的生活中，都会相应地产生温湿度integrated传感器。温湿度 传感器指能将温度和湿度转换成易于测量和处理的电信号的设备或装置。

是MEMS技术产生的压力传感器。MEMS是微电子机械系统的缩写。MEMS是个美国名字，日本叫微力学，欧洲叫微系统。是指能够批量生产，集微机构、微传感器、微致动器、信号处理与控制电路、接口、通信、电源于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路的微加工技术和超精密加工技术的发展而发展起来的。目前MEMS加工技术也广泛应用于微流控芯片、合成生物学等领域，以进行生化等实验室技术流程的芯片集成。

MEMS micro electro mechanical system MEMS传感器可以理解为由微机械加工技术制成传感器微机械加工技术的定义请单独搜索。微机械、微系统它是一个小型化的集成整体系统，MEMS是微机电系统，MEMS 传感器是利用微纳技术制作的具有传感功能的微系统器件。