mems传感器工艺流程

在消费电子和医疗电子产品领域，smart传感器的应用更加多元化,传感器-2/的技术定义称为传感器，国内外没有统一的概念,人的五官是自然的传感器，在工程学上传感器，可以看作是对人的五官的模拟,智能家居，比如扫地机器人洗衣机，涉及到位置传感器接近度传感器液位传感器流量和速度控制、环境监测、安全传感等技术。

目前我国正处于产业结构升级的重要阶段，未来工业制造业将逐步向高端发展，这使得传感器等自动化相关产品迎来良好的发展机遇。传感技术早已进入人类社会的方方面面，不仅在工业生产中，也在日常生活中。在工业电子领域，intelligence 传感器涉及生产、搬运、检查和维护，例如AOI对AGV导航车和其他设备的检查。在消费电子和医疗电子产品领域，smart 传感器的应用更加多元化。

可穿戴设备最基本的功能是通过传感器实现运动，MEMS加速度计有很多种，比如心率传感器脉搏传感器陀螺仪MEMS麦克风等。智能家居，比如扫地机器人洗衣机，涉及到位置传感器接近度传感器液位传感器流量和速度控制、环境监测、安全传感等技术。传感材料MEMS芯片的驱动和应用软件是智能传感器实现这些功能的核心技术。特别是MEMS芯片，由于其体积小、重量轻、功耗低、可靠性高，并可与微处理器集成，成为智能化的重要载体。

1微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开发的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、产业化程度最高的产品。从信号检测方式上，MEMS压力传感器可分为压阻式和电容式两种，分别基于体微机械加工技术和牺牲层技术制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻压力传感器的精度可达0.05%±0.01%，年稳定度可达0.1%/F.S，温度误差0.0002%，耐压可达几百MPa，过压保护范围可达传感器 range的20倍以上，可在大范围内充分工作。

这样就根据需求确定了安装方式。如果MEMS加速度传感器测试的是高频，也就是300Hz以上，建议用环氧或者502直接粘在金属外壳上。如果只是用来测试低频，电路板可以很好的安装。传感器外壳形状根据用户需求定制。总的原则是不吃传感器的精度，安装牢固可靠。当然2.5kHz以内的频率可以直接用PCB固定，但是从国外三轴MEMS 传感器的安装方案来看，基本都是用MEMS芯片或者单板电路直接和金属外壳结构用环氧或者强力胶连接实现的。

传感器-2/的技术定义称为传感器，国内外没有统一的概念。人的五官是自然的传感器，在工程学上传感器，可以看作是对人的五官的模拟。由此传感器可以定义为能够感知指定的测量数据，并按照一定的规则转换成可用的输出信号的装置或设备。首先，传感器 Technology是一种测量装置或器件，是以测量为目的，用于测量的。其次，被测量一般指非电量，主要包括物理量、化学量和生物量。

就目前的科技水平而言，可利用的便于传输和处理的信号其实就是电信号。因此，在一些书中，传感器被直接定义为能够将外部非电量按照一定规律转换成电量输出的装置或设备。传感器技术的发展现状在世界范围内最具代表性，尤其是美国和欧洲。美国发展传感器重视基础研究，发明多，先改进后推广，先军用后民用，产品质量高。以军工和投资产品为主要应用市场，重视提高传统产业的技术水平，逐步形成高新技术产业。

发生振动时，传感器处于持续的开关状态。通过针对性的缓冲结构设计和优化的MEMS芯片布局，显著降低了在线振动冲击测试中MEMS滤光片的频率漂移，通常用于振动报警，如汽车防盗自行车防盗家居用品运动报警，适用于所有需要移动报警的场合。根据滤波器的频率选择功能，可以分为:低通滤波器从0到f2具有平坦的幅频特性，可以使信号中f2以下的频率成分几乎不衰减地通过，而f2以上的频率成分则被大大衰减。